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科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意組合材料定制，
部分產(chǎn)品未及時(shí)更新，特殊定制需求請咨詢客服。

產(chǎn)品中心

PRODUCTS

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鎢硅合金靶材（WSi）

鎢硅合金靶材（WSi）
  • 鎢硅合金靶材（WSi）
鎢硅合金靶材（WSi）基本信息
分子式WSi
純度99.9%
CAS號
摩爾質(zhì)量
密度
熔點(diǎn)
沸點(diǎn)
溶解性（水）

鎢硅合金靶材（WSi）產(chǎn)品概況

W-Si.png

鎢硅合金靶材（WSi）產(chǎn)品應(yīng)用

鎢硅薄膜具有電阻率低、熱穩(wěn)定性強(qiáng)及抗化學(xué)腐蝕性能優(yōu)異等特點(diǎn),是半導(dǎo)體集成電路重要的構(gòu)成部分,主要作為柵極接觸層、擴(kuò)散阻擋層或者黏附層等來進(jìn)行使用。

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